具有弹性和柔性的抛光轮在高速旋转下，微细磨粒被压向工件表面上，发生挤压和摩擦的机械作用，在工件表面上刻划出微小的划痕，生成细微的切屑；同时磨粒使工件表面产生熔融流动，工件表面上形成微观的凹凸的光滑表面。抛光剂中的脂肪酸在高温下起化学反应，从工件金属表面熔析出金属皂，形成一层薄膜。金属皂是一种易于被除去的化合物，起化学洗涤作用。由于摩擦及塑性流动的作用，工件被金刚砂抛光后，也产生轻微的表面变质层。此外，加工环境中的尘埃、异物的混入，对抛光表面也产生机械作用，对被抛光的表面产生划痕，造成抛光缺陷。 一般抛光的线速度为2000m/min左右，抛光压力随抛光轮的刚性不同而不同，最高不大于1kPa，如过大则引起抛光轮变形。一般在抛光10s后，可将前道工序的表面粗糙度减少1/10-1/3，减少程度随不同磨粒种类而不同。

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