超精密浮动金刚砂抛光原理：实际结晶在表面上有很多晶格缺陷，从材料上去除表面原子所需能量比破坏材料原子结合所需的能量小，尤其是凸出部分易受冲击而被去除；当两物质相互摩擦时，两物质表面的结合能量分布出现重叠，强度高的物质表面原子被强度低的物质表面原子冲击而去除，实现用软质粒子来加工硬质材料，而且工件材料也不会因塑性变形产生位错。

工件最外层表面原子和研磨剂粒子最外层表面原子相互扩散，降低了工件最外层表面原子的结合能量，被以后的磨粒粒子冲击而去除。这种加工方法的加工效率随抛光粒子向工件表面的冲击频率、冲击速度、工件与抛光剂的表面原子结合能量分布，和相互扩散的难易程度。不纯物质的原子侵入时工件最外层表面原子的结合能量的降低比例而异。

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